公开/公告号CN111984637A
专利类型发明专利
公开/公告日2020-11-24
原文格式PDF
申请/专利权人 苏州研数信息科技有限公司;
申请/专利号CN202010641389.3
发明设计人 王建刚;
申请日2020-07-06
分类号G06F16/215(20190101);G06K9/62(20060101);G06F16/2458(20190101);
代理机构11751 北京市鼎立东审知识产权代理有限公司;
代理人朱慧娟;刘瑛
地址 100000 北京市东城区光明西里10号楼2单元204
入库时间 2023-06-19 08:04:59
法律状态公告日
法律状态信息
法律状态
2023-04-18
授权
发明专利权授予
机译: 基板处理设备,基板处理方法和存储程序的存储介质,用于在基板处理装置中引起计算机以执行基板处理方法
机译: 基板处理设备,基板处理方法和存储程序的存储介质,用于在基板处理装置中引起计算机以执行基板处理方法
机译: 基板处理设备,基板处理方法和存储程序的存储介质,用于在基板处理装置中引起计算机以执行基板处理方法