用于控制中心到边缘压力改变的压力歪斜系统

摘要

本文中所述的实施例涉及用于控制腔室中的中心到边缘压力改变的压力歪斜系统，以用于沉积具有改进的整体均匀性的先进图案化膜。压力歪斜系统包括经配置以在腔室中形成的泵送区、在泵送区域中设置的壁。腔室包括处理区域、泵送区域、以及连接至泵的泵送路径以排放来自泵送区域的工艺气体。每一泵送区域对应于侧面为壁的泵送区域的空间。供应管道连接至对应的泵送区及对应的质量流动控制装置，以控制提供至对应的泵送区的惰性气体的流率，以控制处理区域的面积中的压力。