一种等离子体放电过程模拟方法及系统

摘要

本发明公开一种等离子体放电过程模拟方法及系统，涉及等离子体源技术领域。该方法包括：在主等离子体区中，利用双极扩散近似和漂移扩散近似计算双极电场；利用双极电场和电子能量方程计算当前射频周期的电子温度；在鞘层区中，利用电子温度、连续性方程和动量方程确定正离子的密度和速度；利用泊松方程和电流平衡方程确定瞬时电场；若相邻两个射频周期的同种带电粒子密度之间的差值小于密度预设阈值，则利用鞘层区的正离子密度、正离子速度和瞬时电场采用离子蒙特卡洛方法确定离子能量分布和角度分布。本发明将主等离子体区和鞘层区分块处理，在主等离子体区采用双极扩散近似避免求解泊松方程，加快了模拟方法的运行效率，提高了模拟速度。