一种测量薄膜样品的复介电常数和复磁导率的测试方法

摘要

本发明公开了一种利用网络参数法测试薄膜复介电常数和复磁导率的方法，主要是利用了矢量网络分析仪的二端网络端口试样模型，测量出薄膜样品在微波频段的S参数，并基于S参数应用于数学形式计算中以直接计算出准确唯一的介电常数和复磁导率。本发明中的测试方法的测试范围广，结果准确，过程简单，而且误差小。