用于小光斑大小透射小角X射线散射术的光束整形狭缝

摘要

本文中描述用于减小有限源大小对于用于透射小角X射线散射术T‑SAXS测量的照明束斑大小的影响的方法和系统。具有细长轮廓的光束整形狭缝位于极为接近处于测量下的标本处且不会干扰全范围的光束入射角上方的晶片级组件。在一个实施例中，四个独立致动光束整形狭缝用于有效地阻断进入x射线光束的一部分并且产生具有盒状照明截面的输出光束。在一个方面，所述光束整形狭缝中的每一个在与光束轴对准的方向上位于距所述标本的不同距离处。另一方面，所述光束整形狭缝被配置成配合所述标本的定向而绕所述光束轴旋转。