超声波清洗设备以及利用其的超声波清洗方法

摘要

本发明公开一种利用超声波对加工材料的表面进行清洗的超声波清洗设备及利用其的超声波清洗方法。所述超声波清洗设备包括：第一清洗单元，以能够沿上下方向及水平方向移动的方式设置，包括向所述加工材料的上表面侧射出超声波的上部超声波发生器；以及第二清洗单元，在进行清洗工艺时，在其内部设置所述加工材料，包括向所述加工材料的下表面侧射出超声波的下部超声波发生器。