法律状态公告日
法律状态信息
法律状态
2019-01-15
实质审查的生效 IPC(主分类):H01J37/32 申请日:20180816
实质审查的生效
2018-12-21
公开
公开
机译: 一种用于在气体压力降低的腔室中产生电极之间产生辉光放电的供应脉冲的方法以及一种用于在气体密封的腔室中的电极之间产生辉光放电的电路的制备方法
机译: 一种用于制备供应脉冲的方法,以在具有降低的气体压力和用于制备供应脉冲的电路中封闭在腔室中的电极之间的辉光放电,以在具有降低的气体压力下封闭在腔室中的电极之间产生辉光放电的电路
机译: 常压辉光放电等离子体处理粉末及其装置