一种基于DMD波前传感技术的反射式大陡度非球面及自由曲面检测装置和方法

摘要

本发明涉及一种基于DMD波前传感技术的反射式大陡度非球面及自由曲面检测装置和方法，属于光学检测领域。该方法引入数字微镜阵列(DMD)对畸变波前像差进行测量，结合光线追迹软件实现非球面及自由曲面的非零位检测。具体通过对DMD编程控制每一个微反射镜单元的工作状态，进而完成整个波前的序列式扫描。这种序列扫描成像的方式不仅扩大了传统波前传感如哈特曼测量的动态范围，更大大提高了其横向分辨率。本方法针对反射式非球面及自由曲面设计了一种通用的非零位检测方法，结构紧凑，具有很强的可扩展性。