一种低浓度标准气体的配气装置及配气方法

摘要

本发明公开了一种低浓度标准气体的配气装置及利用该配气装置的配气方法，配气装置包括气体发生组件和稀释配气组件，气体发生组件包括通过气路连通的主气室、第一气泵、气源室以及在气路中设置的气体传感器，主气室与第一气泵之间连通有第一阀门，气源室通过第二阀门与主气室连通，形成循环气路；稀释配气组件包括进气组件和配气组件。本发明的技术方案利用物质的物理化学特性产生已知浓度的目前气体，可作为一级标准使用，所获标准气体浓度准确性、可靠性高；利用所述循环气路产生标准气可方便地实现气、液分离，可大大降低气源室尺寸，便于恒温控制设计，同时主气室体积可变，可获得较大体积的标准气体。