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能够高分辨率印刷的通用型有机蒸气喷射沉积器和用于OVJP印刷的方法

摘要

本申请涉及能够高分辨率印刷的通用型有机蒸气喷射沉积器和用于OVJP印刷的方法。提供OVJP沉积器和使用其的技术,其中递送和约束流的衬底平面内速度都不为零并且穿过两者之间的边界彼此平行。这些配置提供提高的材料利用效率和放松的飞行高度公差,同时实现可接受的印刷分辨率和特征均匀性。

著录项

  • 公开/公告号CN108930016A

    专利类型发明专利

  • 公开/公告日2018-12-04

    原文格式PDF

  • 申请/专利权人 环球展览公司;

    申请/专利号CN201810520563.1

  • 发明设计人 徐欣;G·麦格劳;W·E·奎因;

    申请日2018-05-28

  • 分类号

  • 代理机构北京律盟知识产权代理有限责任公司;

  • 代理人李琳

  • 地址 美国新泽西州

  • 入库时间 2023-06-19 07:32:28

法律信息

  • 法律状态公告日

    法律状态信息

    法律状态

  • 2019-12-20

    实质审查的生效 IPC(主分类):C23C14/12 申请日:20180528

    实质审查的生效

  • 2018-12-04

    公开

    公开

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