基于电声脉冲法的多试样空间电荷同时测量装置及方法

摘要

一种基于电声脉冲法的多试样空间电荷同时测量装置及方法，包括：依次接触的信号激励模块、高压电极模块、待测试样、测量模块，信号激励模块包括三个并联支路：直流高压源、串联的高压脉冲源和隔直电容、由多个电阻电位器串联而成的分压电路。高压电极模块包括：依次连接固定的电极固定装置、下表面被弹性半导电层覆盖的子电极组。子电极组包括：位于中心的柱形电极以及依次设置于其外部的多个环形电极。测量模块包括：依次连接的地电极和传感器，本方法通过分压电路控制每个子电极上的电压，进而控制多个平板试样内的电场，实现多个平板试样同时测量，本发明能同时测量多个试样内的空间电荷，测量效率大大提高。