微结构模态分析声激励频域光学相干层析检测装置及方法

摘要

本发明涉及一种微结构模态分析声激励频域光学相干层析检测装置及方法，其中装置包括：声激励模块、干涉仪模块、光栅光谱仪模块和计算机。对于方法，首先通过声激励模块产生声波信号激励微结构产生振动。其次，通过干涉仪模块测量微结构产生的振动，带有振动信息的干涉信号进入光栅光谱仪模块中由相机采集光谱信号并传入计算机中。最后，采用波长标定算法和频谱校正算法对傅里叶变换后的频域干涉光谱信号的峰值频率进行精确校正，通过校正后的峰值频率随时间变化关系获得微结构样品振动时域曲线，即还原出振动信号。该装置可对微结构实现非接触式亚纳米量级振动测量，测量装置简单，测量速度快，可靠性强。