公开/公告号CN108896648A
专利类型发明专利
公开/公告日2018-11-27
原文格式PDF
申请/专利权人 中国科学院上海硅酸盐研究所;
申请/专利号CN201810301629.8
申请日2018-04-04
分类号G01N27/68(20060101);H01J49/10(20060101);
代理机构31261 上海瀚桥专利代理事务所(普通合伙);
代理人曹芳玲;张力允
地址 200050 上海市长宁区定西路1295号
入库时间 2023-06-19 07:23:16
法律状态公告日
法律状态信息
法律状态
2018-12-21
实质审查的生效 IPC(主分类):G01N27/68 申请日:20180404
实质审查的生效
2018-11-27
公开
公开
机译: 增强无线电频率辉光放电质谱仪信号强度的装置和方法
机译: 带有高压接口的射频辉光放电装置和方法
机译: 具有高压接口的射频供电的辉光放电装置和方法