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全斯托克斯偏振成像元件及其制备方法

摘要

一种全斯托克斯偏振成像元件,包括透光基底和位于透光基底上的介质结构层,所述的介质结构层由超像素单元阵列组成,所述的超像素单元包括4个不同取向的介质线栅结构和2个不同旋向的旋转对称手性结构。该元件可通过电子束曝光和显影技术以及反应离子束刻蚀等工艺流程制得。该元件可实现实时全偏振成像,该全斯托克斯偏振成像元件中线偏振片的透过率在1.7~1.8μm处为99%以上,消光比20dB以上,最高可达到55dB;其圆偏振二色性在1.75μm处圆二色性最高可达到96.8%;同时,该元件结构简单、性能优良,同时原料来源广、制备简易,在偏振成像领域具有很大的应用价值。

著录项

  • 公开/公告号CN108878466A

    专利类型发明专利

  • 公开/公告日2018-11-23

    原文格式PDF

  • 申请/专利号CN201810620205.8

  • 申请日2018-06-15

  • 分类号H01L27/146(20060101);

  • 代理机构31317 上海恒慧知识产权代理事务所(特殊普通合伙);

  • 代理人张宁展

  • 地址 201800 上海市嘉定区清河路390号

  • 入库时间 2023-06-19 07:21:40

法律信息

  • 法律状态公告日

    法律状态信息

    法律状态

  • 2018-12-18

    实质审查的生效 IPC(主分类):H01L27/146 申请日:20180615

    实质审查的生效

  • 2018-11-23

    公开

    公开

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