使用谐振频率偏移的无创厚度测量

摘要

一种测量材料的厚度的方法一般包括经过该材料从第一焊盘向第二焊盘传送振荡信号，并且测量反射回到第一焊盘的信号。该材料可以是同质或异质的，并且具有介电性质。信号使其频率随时间而改变，使得可分析系统(第一焊盘、材料和第二焊盘)的频率响应。确定系统的谐振频率。材料的厚度基于通过材料的厚度上的变化所引起的谐振频率偏移来确定。本发明可有利地用来测量车辆轮胎或其他材料的厚度。还公开相关设备。