一种基于多层及大面积石墨烯生长用石英舟的石墨烯生长方法

摘要

本发明属于石墨烯生长的技术领域，尤其涉及基于石墨烯生长用一层、多层、卷对卷等多功能支撑平台的石墨烯生长方法，所述平台包括管状石英舟、石英插板和石英滑块；所述的管状石英舟是管状石管，其外径小于生长用石英管内径，且其管状石英舟外壁可采用金属箔卷绕，实现大面积卷对卷石墨烯生长；所述的石英插板是多层上下平行的石英插板，可实现单层或多层石墨烯生长，其与管状石英舟内壁以点焊连接；所述的石英滑块用于支撑管状石英舟在生长用石英管内部滑动。本发明的有益效果是：基于设计的石墨烯生长平台，可同时实现石墨烯生长用的单层、多层、卷对卷等多功能石墨烯生长需求，解决了单次装载金属基底较少，以及大面积石墨烯生长需求的问题。