一种配向膜预烘烤炉设备及配向膜预烘烤方法

摘要

本发明公开了一种配向膜预烘烤炉设备和配向膜预烘烤方法。配向膜预烘烤炉设备包括：第一支架，其朝上一侧表面分布有若干第一顶针，若干所述第一顶针的尖端共同定义第一支撑面；第二支架，其朝上一侧表面分布有若干第二顶针，若干所述第二顶针的尖端共同定义第二支撑面；驱动机构，用于驱动所述第二支架上下及平移，以使得所述第二支撑面至少依序经历高于所述第一支撑面、高于所述第一支撑面时平移、低于所述第一支撑面的状态。通过上述方式，本发明能够实现配向膜预烘烤炉设备中预烘烤的基板可以在第一顶针和第二顶针之间来回移动，从而能够避免配向膜预烘烤制程中出现Pin Mura的问题。