一种亚微米级像元的超高分辨率成像光学系统及成像方法

摘要

一种亚微米级像元的超高分辨率成像光学系统及成像方法，包括第一非球面校正镜(1)、第二非球面校正镜(2)、折转镜(3)、主反射镜(4)、场镜(5)、成像像面(6)，通过校正镜组及折转镜(3)的反射，再由主反射镜(4)于场镜(5)内会聚至成像像面，克服了现有光学系统无法应对校正镜大口径高精度光学探测器的问题，适用于现有的光学探测装置。