法律状态公告日
法律状态信息
法律状态
2018-12-07
实质审查的生效 IPC(主分类):G01M9/04 申请日:20180815
实质审查的生效
2018-11-13
公开
公开
机译: 一种用于安装和拆卸靶的装置,用于该装置的靶,随该装置提供的源以及在真空下与源一起的靶和处理室。
机译: 用于真空室中的磁控管溅射的大型阴极,包括靶和用于产生磁场的装置,该装置自身以圆形的方式包围在靶的表面上并且以隧道形的方式形成
机译: 用于安装和拆卸靶的装置,该装置的靶,该装置提供的源以及该靶和该来源提供的真空处理室。