公开/公告号CN108766877A
专利类型发明专利
公开/公告日2018-11-06
原文格式PDF
申请/专利权人 中国科学院上海应用物理研究所;
申请/专利号CN201810354253.7
申请日2018-04-19
分类号
代理机构上海智信专利代理有限公司;
代理人邓琪
地址 201800 上海市嘉定区嘉罗公路2019号
入库时间 2023-06-19 07:04:59
法律状态公告日
法律状态信息
法律状态
2018-11-30
实质审查的生效 IPC(主分类):H01L21/265 申请日:20180419
实质审查的生效
2018-11-06
公开
公开
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