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一种扫描式UVLED曝光机及其扫描方法

摘要

本发明提供的扫描式UVLED曝光机及其扫描方法,UVLED扫描光源单元用于出射光束;线阵CCD光源探测单元设置于所述UVLED扫描光源单元的出光面,线阵CCD光源探测单元用于扫描所述UVLED扫描光源单元出射的光束及探测光束的近场光强,并将近场光强反馈至所述UVLED光源控制单元;所述UVLED光源控制单元获取所述近场光强分布并根据所述近场光强对所述UVLED扫描光源单元的电源进行控制,保证UVLED扫描光源单元的电源稳定,以使所述UVLED扫描光源单元出射的光束在曝光面均匀分布,从而可以实现在生产作业间歇期对光源均匀性进行快速检测与调整,降低光源维护与调整的难度并提高生产效率和良品率。

著录项

  • 公开/公告号CN108732872A

    专利类型发明专利

  • 公开/公告日2018-11-02

    原文格式PDF

  • 申请/专利权人 珠海迈时光电科技有限公司;

    申请/专利号CN201810857588.0

  • 发明设计人 杜春雷;夏良平;王乡;陈苗;

    申请日2018-07-31

  • 分类号

  • 代理机构深圳市科进知识产权代理事务所(普通合伙);

  • 代理人曹卫良

  • 地址 519000 广东省珠海市香洲区南屏科技工业园屏东六路1号9号楼第二层205、206房

  • 入库时间 2023-06-19 07:01:55

法律信息

  • 法律状态公告日

    法律状态信息

    法律状态

  • 2018-11-27

    实质审查的生效 IPC(主分类):G03F7/20 申请日:20180731

    实质审查的生效

  • 2018-11-02

    公开

    公开

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