公开/公告号CN108734766A
专利类型发明专利
公开/公告日2018-11-02
原文格式PDF
申请/专利号CN201810473623.9
申请日2018-05-17
分类号
代理机构成都希盛知识产权代理有限公司;
代理人杨冬梅
地址 611730 四川省成都市高新区西区合作路689号
入库时间 2023-06-19 06:57:18
法律状态公告日
法律状态信息
法律状态
2018-11-27
实质审查的生效 IPC(主分类):G06T15/50 申请日:20180517
实质审查的生效
2018-11-02
公开
公开
机译: 用于光刻厂的用于确定曲面镜曲率半径的装置具有评估装置,如果曲率半径与目标半径相对应,该评估装置可确定目标物平面与实际物平面之间的偏差
机译: 测量凸和凹球面曲面曲率半径的方法和装置
机译: 测量凹曲面的曲率半径的方法和装置