基于同步辐射光源的X射线散斑检测装置及方法

摘要

本发明提供一种基于同步辐射光源的X射线散斑检测装置，用于检测待测元件的波前信息，包括沿光路的走向依次排布的同步辐射光源、单色器、散射体和探测器，单色器和散射体之间为一待测元件安装位置。此外，本发明还提供了两种采用该基于同步辐射光源的X射线散斑检测装置的基于同步辐射光源的X射线散斑检测方法。本发明的基于同步辐射光源的X射线散斑检测装置结合激光散斑检测与同步辐射X射线传播的理论方法，实现对光学元件的在线检测功能；此外，该装置将待测元件设置于散射体与单色器之间，使得该装置在适用于小型待测元件的在线检测同时，还可适用于不可移动的大型反射镜面的在线检测。