法律状态公告日
法律状态信息
法律状态
2019-09-17
发明专利申请公布后的撤回 IPC(主分类):G21G1/10 申请公布日:20181023 申请日:20180705
发明专利申请公布后的撤回
2018-11-16
实质审查的生效 IPC(主分类):H05H6/00 申请日:20180705
实质审查的生效
2018-10-23
公开
公开
机译: 轰击锂并产生轰击靶和靶的靶的方法
机译: 用于溅射的高纯度高密度金属Mo烧结靶的生产方式无效,这使得形成的颗粒很少的高纯度金属Mo薄膜的形成
机译: 适合用作高纯度金属溅射Mo烧结靶的原料粉末的高纯度金属Mo粗粉