公开/公告号CN108685570A
专利类型发明专利
公开/公告日2018-10-23
原文格式PDF
申请/专利权人 中国科学院微电子研究所;
申请/专利号CN201710236250.9
申请日2017-04-12
分类号A61B5/0402(20060101);A61B5/00(20060101);
代理机构11227 北京集佳知识产权代理有限公司;
代理人王宝筠
地址 100029 北京市朝阳区北土城西路3号中国科学院微电子研究所
入库时间 2023-06-19 06:49:24
法律状态公告日
法律状态信息
法律状态
2018-11-16
实质审查的生效 IPC(主分类):A61B5/0402 申请日:20170412
实质审查的生效
2018-10-23
公开
公开
机译: 一种清洁真空系统的方法,一种用于基板的真空处理方法,以及用于真空处理基板的装置
机译: 一种病毒的处理方法,装置,系统,装置和计算机存储介质
机译: 配置为使用多个移动单元中的任何一种的用户管理信息的运输系统信息处理装置和信息处理方法