射频收发机中方柱型热电与纳米硅薄膜光电集成发电机

摘要

本发明的射频收发机中方柱型热电与纳米硅薄膜光电集成发电机，选择N型硅片作为衬底，光电部分制作有非晶硅(a‑Si)薄膜、绒面和P型N型掺杂，正负电极按照图2所示进行连接，然后制备第一氮化硅隔离层，用于隔离热电光电，刻蚀开孔填充金属铝，作为光电与热电连接。热电发电机的基本结构为热电偶，本发明的热电偶采用垂直方柱结构，方柱由若干个P型多晶硅纳米线簇和N型多晶硅纳米线簇构成的，串联得到如图3所示的热电堆结构。本发电机实现了热电光电的单片集成，垂直型热电降低了内阻，采用纳米硅薄膜，其热导率远低于传统体材料，一边维持电子运输，一边抑制热量输送，同时还具有优异的光电特性和高电导率等，全面提高了热电光电发电效率。