公开/公告号CN108521778A
专利类型发明专利
公开/公告日2018-09-11
原文格式PDF
申请/专利权人 深圳市柔宇科技有限公司;
申请/专利号CN201780004624.2
发明设计人 罗卫;
申请日2017-05-17
分类号B65G43/00(20060101);B65G49/06(20060101);
代理机构
代理人
地址 518052 广东省深圳市龙岗区横岗街道龙岗大道8288号大运软件小镇43栋
入库时间 2023-06-19 06:29:52
法律状态公告日
法律状态信息
法律状态
2018-10-09
实质审查的生效 IPC(主分类):B65G43/00 申请日:20170517
实质审查的生效
2018-09-11
公开
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机译: 用于检测基板位置偏差的方法,判断基板位置异常的方法,基板承载控制方法和基板未对准检测装置
机译: 用于基板加工厂的运输系统,特别是用于在洁净室,惰性气体或真空条件下运行普通基板加工厂的运输系统,其运输车可在扩展坞之间移动
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