一种基于MIM波导内嵌矩形腔等离子体滤波器

摘要

本发明公开一种基于MIM波导内嵌矩形腔等离子体滤波器，属于微纳光电子领域。采用口径耦合的方法构造了一种金属‑介质‑金属矩形波导的滤波器。在本发明实例中，金属薄膜采用金属银材料制成金属薄膜整体为正方形并在金属薄膜上通过镂空方式，形成入射波导、矩形口径和矩形谐振腔。本发明采用矩形谐振腔通过矩形口径与光波导相连实现表面等离激元SPP与谐振腔的共振耦合作用，本发明的特点：通过调节矩形谐振腔的长度，宽度以及矩形口径的宽度等，可以实现滤波器的选频特性。