一种基于石墨烯自身缺陷制作标准漏孔的方法

摘要

本发明公开了一种基于石墨烯自身缺陷的标准漏孔的方法，首先在铜箔上制作单层石墨烯，在石墨烯上涂一层聚甲基丙烯酸甲酯，使用铜腐蚀液去除铜箔，然后将石墨烯放到已打好孔的硅片上，干燥约1小时完成石墨烯的转移，最后将硅片放在KF40密封法兰上，使用Torr‑Seal胶均匀涂在硅片的四周，静置12小时以上固化制得单层石墨烯标准漏孔。本发明提出了一种新颖的制作标准漏孔的方法，可以通过控制石墨烯的层数控制通道的尺寸，获得所需要漏率的标准漏孔，因此，该标准漏孔漏率大小可控性好、漏率范围宽、可实现微小漏率测量，可保证通道中气体处于分子流状态。