一种制备柔性薄膜基底微纳米结构的充气薄膜方法

摘要

本发明公开了一种制备柔性薄膜基底微纳米结构的充气薄膜方法，本发明首先使用上下两个夹具将柔性薄膜基底夹持；然后将带有充气孔的背板固定在下夹具的下方；在接触式曝光过程中，利用通入的气体将柔性薄膜基底及其表面的光刻胶与掩模版无间隙紧密贴合，从而获得高精度的微纳米结构。与现有的直接接触式曝光制备柔性薄膜基底微纳米结构技术相比，具有薄膜基底与掩模版贴合紧密、微纳米结构线宽和深度均匀性好、工艺重复性和可靠性高等优点。