用于清洁光学元件的受控流体流动

摘要

基于第一流动模式朝向光学元件(420)的表面(422)引导流体(105)，光学元件的表面包括碎片，并且基于第一流动模式被引导的流体将至少一些碎片移动到光学元件的表面处的第一停滞区域(425)；并且基于第二流动模式朝向光学元件引导流体，基于第二流动模式被引导的流体将至少一些碎片移动到光学元件的表面上的第二停滞区域，第二停滞区域和第一停滞区域是光学元件的表面处的不同的位置。