用于制备多孔模板的衬底及制备方法、多孔模板的制备方法

摘要

本发明公开了用于制备多孔模板的衬底，依次包括基板、金属钛薄膜、多孔氮化钛薄膜。本发明还公开了用于制备多孔模板的衬底制备方法，包括以下制备方法：(1)在基板上沉积金属钛薄膜，得到镀钛基板；(2)将镀钛基板转移到金属有机物化学气相沉积生长设备中；(3)在氢气气氛中对镀钛基板在600‑680℃保温预烘烤3‑10min；(4)通入NH3和H2混合气体，在600‑680℃温度条件下进行对镀钛基板进行氮化3～15min，金属钛薄膜表面由于氮化反应开裂成的多孔氮化钛薄膜。本发明的模板的尺寸取决于衬底本身而不受制于制备方法，更加适用于大尺寸工业生产需求。