具有非化学计量金属硫化物层的CIGS基光伏电池及制造该光伏电池的方法和装置

摘要

本发明提供了一种制造光伏器件的方法，包括：在衬底上形成包括铜、铟、镓和硫族元素的p型化合物半导体材料层；以及通过使用至少一个含金属和硫的溅射靶的溅射过程，在所述p型化合物半导体材料层上形成n型金属硫化物层，所述溅射靶具有非化学计量的成分，其中金属与硫原子比率大于1。