物体保持装置、曝光装置、平板显示器的制造方法、器件制造方法、物体的保持方法以及曝光方法

摘要

本发明的保持光罩(M)的光罩载台装置(14)具备：支承块(50)，其从下方支承光罩(M)；吸附垫(46)，其具有对由支承块(50)支承且因光罩(M)的自重而挠曲的光罩(M)的面进行保持的保持面，使保持面以沿着挠曲的光罩(M)的面的方式可动并利用保持面保持光罩；和吸引口(46b)，其将挠曲的光罩(M)吸附于保持面。