利用基准模块对坐标测量机进行的误差补偿

摘要

本发明涉及补偿坐标测量机(2)中的误差的方法，该坐标测量机适于确定待测量物体上的测量点的至少一个空间坐标，所述坐标测量机(2)包括：基部(11)；用于接近所述测量点的探头(15)；用于将所述探头(15)连接至所述基部(11)的机器结构，所述机器结构包括至少一个第一结构性部件(12’、12’)和至少一个驱动机构，所述至少一个驱动机构可移动地连接所述基部(11)和所述第一结构性部件(12’、12’)，以提供所述探头(15)相对于所述基部(11)的可移动性；基准模块，该基准模块包括至少一个第一机械基准元件(21、21’)和分配给第一基准元件(21、21’)的至少一个第一传感器单元(22、22’)；以及适于执行建模功能的控制和处理单元。所述方法包括以下步骤：测量从所述第一基准元件(21、21’)至所述第一结构性部件(12’、12”)的距离，其中，所测量的距离指示所述第一结构性部件(12’、12”)的位移或变形；限定具有第一组状态变量的动态模型，所述状态变量与所述基准模块的一组物理特性有关并且表示所述基准模块的实际状态；通过基于所述动态模型的计算获得所述基准模块的所述实际状态；以及基于所述实际状态推导补偿参数。