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具有阳离子型表面活性剂及环糊精的加工钨的浆料

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摘要

描述了用于对含有钨的基板的表面进行化学‑机械抛光(或平面化)的化学‑机械抛光组合物(例如浆料)以及所述浆料的使用方法，所述组合物含有阳离子型表面活性剂及环糊精。

公开/公告号CN108350318A

专利类型发明专利
公开/公告日2018-07-31

原文格式PDF
申请/专利权人嘉柏微电子材料股份公司;
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申请/专利号CN201680062494.3
发明设计人 K.多克里;黄禾琳;富琳;李常怡;
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申请日2016-10-21
分类号C09G1/02(20060101);C09G1/04(20060101);C09K3/14(20060101);B01J23/745(20060101);
代理机构11105 北京市柳沈律师事务所;
代理人邢岳
地址美国伊利诺伊州
入库时间 2023-06-19 06:30:45

1. 具有阳离子型表面活性剂及环糊精的加工钨的浆料 [P] . 中国专利： CN108350318A . 2018-07-31
2. 具有催化剂的加工钨的浆料 [P] . 中国专利： CN108473849A . 2018-08-31
3. Tungsten-Working Slurry with Cationic Surfactant and Cyclodextrin [P] . 韩国专利： KR20180061388A . 2018-06-07

机译：含阳离子表面活性剂和环糊精的钨加工浆料
4. Tungsten-processing slurry with cationic surfactant and cyclodextrin [P] . 美国专利： US9771496B2 . 2017-09-26

机译：阳离子表面活性剂和环糊精的钨加工浆料
5. TUNGSTEN-PROCESSING SLURRY WITH CATIONIC SURFACTANT AND CYCLODEXTRIN [P] . 日本专利： JP2019502252A . 2019-01-24

机译：阳离子表面活性剂和环糊精的钨加工浆液