涂布膜去除装置、涂布膜去除方法以及存储介质

摘要

本发明提供一种在利用去除液将作为基板的晶圆表面上形成的涂布膜的周缘部去除时抑制在涂布膜端部产生凸起(隆起)的涂布膜去除装置、涂布膜去除方法以及存储介质。在从去除液喷嘴(3)向通过旋转卡盘(11)而旋转的晶圆(W)的周缘部喷出去除液来去除涂布膜的周缘部的不需要的膜时，在使晶圆以2300rpm以上的第一转速进行旋转的状态下，使去除液的供给位置从周缘位置向比该周缘位置靠内方侧的切断位置移动。接着，在供给位置到达切断位置之后，使该供给位置在1秒以内从切断位置向晶圆的周缘侧移动。通过使晶圆以2300rpm以上这样大的转速进行旋转，来对晶圆表面的去除液的液流作用大的离心力，将去除液向晶圆的外侧推压。