一种基于CMOS工艺的金属天线耦合太赫兹波热探测器结构

摘要

本发明公开一种基于CMOS工艺的金属天线耦合太赫兹波热探测器结构，采用基于CMOS工艺下的天线耦合的太赫兹热探测器结构，采用接受率较高的天线阵列接收太赫兹波，可以实现对入射波的频率选择性，并且有助于提升探测器的响应率，采用天线后接匹配的多晶硅电阻，将天线接受到电磁能量尽最大可能的转化为热能，从而帮助提升探测器的响应率。采用红外领域常用的源漏短接的NMOS管温度传感器，占用面积小，容易制造，成本较低。