一种基于可溶中间转移层的柔性多层嵌套结构制备方法

摘要

本发明公开一种基于可溶中间转移层的柔性多层嵌套结构制备方法，属于MEMS技术领域。本发明提出一种基于聚乙烯醇(PVA)可溶中间转移层的工艺方法，完成跨尺度微纳结构图形转移，建立以硅基原始模版制备可溶的PVA中间转移层，然后在以PVA中间转移层复制柔性复杂多层微纳复合结构的工艺路线。该方法在实现从硬质正图形到柔性正图形的转移的同时完成跨尺度柔性材料的制备，从而减少了传统过程中制备硬质负图形的复杂工艺，并为实现更复杂结构柔性材料的制备提供了技术基础。