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公开/公告号CN108292622A
专利类型发明专利
公开/公告日2018-07-17
原文格式PDF
申请/专利权人 昕芙旎雅有限公司;
申请/专利号CN201680069802.5
发明设计人 森鼻俊光;松本祐贵;
申请日2016-11-29
分类号
代理机构北京林达刘知识产权代理事务所(普通合伙);
代理人刘新宇
地址 日本东京都
入库时间 2023-06-19 05:57:58
法律状态公告日
法律状态信息
法律状态
2018-11-13
实质审查的生效 IPC(主分类):H01L21/677 申请日:20161129
实质审查的生效
2018-07-17
公开
机译: 装载端口提供的载物台上要安装的适配器和装载端口
机译: 降低容量的载具,载具机器,装载端口,缓冲装置系统
机译: 安装在装载端口和装载端口上的适配器
机译:使用FOUP方法的450mm waiha载具和450mm装载端口的SEMI标准发展趋势
机译:最新装载省电装置:易装载机拥有平滑的载负载不锈钢平面型和高耐用性
机译:具有无排放端口操作的载具
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机译:多端口集装箱运输的积载计划模型。
机译:用于透射电子显微镜的自动100位置试样装载器和图像采集系统
机译:地中海港口范围内的装载中心。端口集线器和端口网关
机译:使用双六端口测量适配器损耗,不匹配和效率