公开/公告号CN108292624A
专利类型发明专利
公开/公告日2018-07-17
原文格式PDF
申请/专利权人 EV 集团 E·索尔纳有限责任公司;
申请/专利号CN201680062355.0
发明设计人 G.米滕多费尔;
申请日2016-10-25
分类号
代理机构中国专利代理(香港)有限公司;
代理人邵长准
地址 奥地利圣弗洛里安
入库时间 2023-06-19 05:57:58
法律状态公告日
法律状态信息
法律状态
2018-11-06
实质审查的生效 IPC(主分类):H01L21/683 申请日:20161025
实质审查的生效
2018-07-17
公开
公开
机译: 用于处理基板表面上的毫米,微米或纳米结构的方法
机译: 一种用于处理基板表面上的毫米级和/或微米级和/或纳米级结构的方法
机译: 在基质表面上处理毫米和/或微米和/或纳米结构的方法