一种薄膜型超高温热流传感器敏感元及其制备方法

摘要

本发明属于高温热流传感器领域，更具体地，涉及一种薄膜型超高温热流传感器敏感元及其制备方法。该热流传感器敏感元包括基底、位于所述基底上表面的热阻层和差分热电偶阵列，差分钨铼合金热电偶阵列由多个差分热电偶串联而成，差分热电偶的冷端位于所述基底上表面，热端位于所述热阻层上表面，差分热电偶的冷端和热端首尾相连组成差分热电偶阵列。差分热电偶为钨铼合金热电偶，本发明提供的热流传感器敏感元结构单元中采用两种不同金属铼含量的钨铼合金作为热电偶正负极材料，钨铼合金熔点高，塞贝克系数也较高；配合表面的抗氧化保护层，制成的热流传感器敏感元适用于超高温1200℃以上。