一种精密车床加工菲涅尔微结构阵列的加工轨迹生成方法

摘要

本发明涉及一种菲涅尔微结构阵列的表面加工方法。该方法可应用在四轴或以上的超精密机床上，使用单点金刚石车刀加工，加工时将车刀安装在C轴主轴上，工件安装在Z轴上。按照加工过程中采用“XYC三轴联动”的方法，以及车刀刀刃方向与工件菲涅尔结构的圆环切线方向重合的原则，计算工件上的菲涅尔子单元的每一圈轨迹坐标点对应的机床XYZ轴值和C轴角度，通过上述方法完成切削点在工件坐标系与车床坐标系的转换，生成完整加工轨迹。从而实现菲涅尔微结构阵列的超精密加工，切削方向、刀具相对于工件的速度方向，与菲涅尔圆形的切线方向一致。