一种使用源金属制备多元化合物块晶的装置及方法

摘要

本发明公开了一种使用源金属制备多元化合物块晶的装置及方法，所述源金属液化器位于高压气液混合雾化器之上，所述高压气液混合雾化器位于金属液回收系统之上，所述筛选器位于金属液回收系统的中部及以上，所述颗粒预处理器的进口与筛选器的出口连接，所述颗粒预处理器的出口与化合物反应器的入口相连，所述沉积生长器位于化合物反应器的底部。本发明使用高纯度源金属，使其熔化、液化，对液态金属通过气液混合、高压雾化，使液态金属转化为超细微的金属微滴。超细微的金属微滴进入化学物反应器，与反应气体进行反应，使其转化成化合物晶粒，而后堆积、热生长在设定的沉积槽(有衬底或无衬底)内，形成化合物块状晶体。