一种用于单晶硅制绒的壳聚糖-聚2-丙烯酰胺基-2-甲基丙磺酸钠共聚物的制备方法

摘要

本发明涉及单晶硅片制备领域，公开了一种用于单晶硅制绒的壳聚糖‑聚2‑丙烯酰胺基‑2‑甲基丙磺酸钠共聚物的制备方法，包括：将壳聚糖溶解到去离子水中，在惰性气体保护下，依次加入硝酸铈铵和2‑丙烯酰胺基‑2‑甲基丙磺酸钠；升温反应，再将反应体系置于透析袋中，于去离子水中透析后，冻干收集得到共聚物。本发明将上述方法制得的壳聚糖‑聚2‑丙烯酰胺基‑2‑甲基丙磺酸钠共聚物用于单晶硅制绒，其材料绿色环保，且该共聚物可在不影响其脱泡效果的前提下显著提高其在硅片表面的沉积能力，维持优化绒面金字塔结构，使得制绒后所获得的单晶硅片上四面方锥体均匀，硅片反射率低。