微型高分辨率光纤位移传感器

摘要

一种微型高分辨率光纤位移传感器，在单模光纤的端部熔接有空芯微球，在空心微球的外表面加工有应力释放槽,应力释放槽为圆弧槽，应力释放槽的横截面为矩形通槽，槽宽为5～30μm,应力释放槽的中心平面与单模光纤轴线垂直，在应力释放槽所在的曲面内圆弧中心线所对的圆心角为10°～270°。发明人采用本发明实施例1的微型高分辨率光纤位移传感器进行了实验，传感器的灵敏度可达到‑2.3527nm/μm，实现微纳级的位移。本发明具有结构紧凑、灵敏度高、稳定性好等特点，满足高分辨应变检测的要求。