一种含碳氧化物辅助的化学气相沉积合成石墨烯的方法

摘要

本发明属于石墨烯制备技术领域，具体涉及一种含碳氧化物辅助的化学气相沉积合成石墨烯的方法。本发明方法包括：试探实验和石墨烯合成；试探实验流程包括：衬底抛光及氧化，衬底载入化学气相沉积系统；在预设反应条件下生长石墨烯；记录成核密度情况，绘制”成核密度‑H2流量”曲线，并确定成核条件和外延条件；然后按确定成核条件和外延条件合成石墨烯。本发明方法可实现大规模单晶石墨烯的合成，而且可在不同系统中复制，对不同系统具有较好的适应性。