公开/公告号CN102037165B
专利类型发明专利
公开/公告日2013-01-30
原文格式PDF
申请/专利号CN200980118172.6
发明设计人 P-J·阿莱;P·罗卡伊卡巴罗卡斯;
申请日2009-03-19
分类号C30B25/02(20060101);C30B29/60(20060101);
代理机构11247 北京市中咨律师事务所;
代理人林柏楠;彭飞
地址 法国帕莱索
入库时间 2022-08-23 09:12:47
法律状态公告日
法律状态信息
法律状态
2013-01-30
授权
授权
2011-06-15
实质审查的生效 IPC(主分类):C30B 25/02 申请日:20090319
实质审查的生效
2011-04-27
公开
公开
机译: 在金属氧化物基板上制造纳米结构的方法,在金属氧化物基板上沉积薄膜的方法以及薄膜器件
机译: 在金属氧化物基板上制造纳米结构的方法,在金属氧化物基板上沉积薄膜的方法以及薄膜器件
机译: 在基底上制备纳米结构金属氧化物薄膜的方法,基底及其膜