一种使用泡沫金属增强冷却的真空镀阴极靶

摘要

本发明涉及一种使用泡沫金属增强冷却的真空镀阴极靶，其包括磁轭、磁体、靶材、背板、石墨片、泡沫金属、冷却液流道，通过靶材与背板之间设置的石墨片来减小接触热阻，通过紧密连接在背板另一面并填充在冷却液流道的泡沫金属来增加换热面积，增强冷却效果。