一种基于工序关联关系的工艺缺陷风险分析方法

摘要

一种基于工序关联关系的工艺缺陷风险分析方法，包括：S1：根据传统PFMEA(过程失效模式以及影响分析)分析各缺陷模式的RPN(风险优先数)；S2：建立工艺缺陷模糊矩阵；S3：模糊缺陷风险分析；S4：建立缺陷间相互关联矩阵；S5：建立关联风险分析模型。本发明的优点在于，一是考虑了缺陷间的关联关系，得到的缺陷风险值的排序结果与传统的RPN分析方法相比，量化分析了模糊语义的风险评价结果，对RPN值相同或相近的缺陷风险程度进行了区分。二是提出的风险分析方法考虑了工序与工序之间不同缺陷的相互影响关系，因此其相对风险评价结果更能反映实际的加工情况，更具参考应用价值。